泰晶科技一高精度光刻配套設備再創(chuàng)佳績

隨州日報

　　隨州日報訊（通訊員徐方方）泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套設備——全自動晶圓調頻及測選機，近日又取得新突破，該設備適用于光刻晶圓頻率調整及分測，配合基于半導體技術的光刻制程量產及質量提升。這一設備的研制成功，不僅填補了行業(yè)空白，而且保證了關鍵性技術的保密性，為公司正在進行的大規(guī)模擴產提供了更優(yōu)的方案。
　　該設備采用特定的光譜取代原有光源，使用全新的測試線路及測量方式，大幅提高了設備的精度及效率。目前使用設備頻率調整精度可達±5PPM，合格率98.5％以上，各項指標達到國際先進水平。擁有自主知識產權的設備研發(fā)，使公司具有持續(xù)創(chuàng)新能力，經過設備升級，可加工更小型的1毫米系列產品。
　　該設備的研發(fā)成功不僅極大提高了產品品質及生產效率，而且設備性能優(yōu)勢得到日本同行的高度認可。目前已交付多套給某全球著名同行，得到該全球巨頭同行的高度評價。