泰晶科技實現(xiàn)MEMS光刻技術產業(yè)化

張琴 · 發(fā)表于 2019-7-18 10:47:55

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“小巨人”專注“微型化”
泰晶科技實現(xiàn)MEMS光刻技術產業(yè)化

隨州日報訊（全媒記者張琴）500倍電子顯微鏡下，逾2000顆的“2012”型號晶體諧振器整齊排列在一張僅80×80mm的晶元上，難度極高的六面光刻工藝一覽無余，“微型化”是這類產品的最大優(yōu)勢。

這是泰晶科技最前沿的“微型化”產品產業(yè)化分廠的一瞥。“所謂‘微型化’，不僅是體積小，同時還要求高頻率、高精度、高性能。”泰晶科技研發(fā)技術總監(jiān)孫曉明說。

微型化、片式化是晶振行業(yè)的發(fā)展方向，小型號、高精度、高可靠性的晶振產品，才能更加適應5G時代和高科技產品的需要。作為國內晶振行業(yè)的專精特新“小巨人”企業(yè)，泰晶科技敏銳地掌握電子產品輕薄短小化、快速光電寬頻傳輸與高頻通訊的發(fā)展主流，近年來一直致力于開發(fā)微型化、高頻與光電領域等產品。

“這款38.4兆赫茲的產品，厚度只有0.04mm，薄如蟬翼?！睂O曉明拿出一盒泰晶科技生產的晶振展盒，數(shù)十種主要型號的產品分布其中，最小的“1210”型號晶振封裝后比芝麻還要小。

讓產品實現(xiàn)更小尺寸、更高頻率、更低功耗、更低延時、高穩(wěn)定性，這是泰晶科技產品研發(fā)的核心工作。孫曉明介紹，只有不斷在這些方面取得突破，才能滿足更多小型號應用終端的需求，如智能穿戴等類型產品。

泰晶科技研發(fā)中心主任黃大勇介紹，“實現(xiàn)產品‘微型化’，MEMS光刻技術是至關重要工藝?！碧┚Э萍紡?011年開始布局光刻工藝研發(fā)，2014年組建了國內同行業(yè)首家微納米晶體加工技術重點實驗室，以激光調頻和光刻技術為基礎，加強MEMS技術在晶體諧振器產品的技術優(yōu)勢，重點生產頻率更精準、體積更小的高端SMD晶體諧振器產品。

今年初，泰晶科技微加工分廠正式投入運行，標志著泰晶的微型化產品從實驗室走上了生產線，實現(xiàn)了產業(yè)化。泰晶科技也成為國內唯一一家具有MEMS技術及產業(yè)化的企業(yè)。

在微加工分廠看到，除了光刻機，其他40多道工序十幾種類型的設備均由泰晶科技自主研發(fā)或與高校聯(lián)合研發(fā)。

去年，泰晶科技在國內率先實現(xiàn)“1612”型號晶振的量產，實現(xiàn)了“微型化”一大突破。目前，泰晶的“微型化”產品家族已經擁有“2520”、“2016”、“1612”幾種型號的各頻率產品，“1210”也正在研發(fā)中，“微型化”產品份額穩(wěn)步提升。